光电混合集成硫化氢气体浓度传感器装置及其测试方法

申请号：

200910059513.9 

摘要：

本发明公开了一种光电混合集成硫化氢气体浓度传感器装置，其特点是该传感器装置由激光器(1)引出的激光经编振器(2)通过透镜(3)光纤(4)将聚焦的偏振光传入气体盒(13)内，输入耦合元件(12)上实现光纤与波导耦合，耦合后的光进入马赫-曾德波导干涉仪(14)，然后由分支波导(5、19)分别与参考臂波导(15)和信号臂波导(6)并联连接，通过模场匹配确定两波导端面尺寸，以减少耦合损失，提高耦合效率，波导相位调制器(16)为集总型波导相位调制器结构，设在参考臂波导和信号臂波导之间，经马赫-曾德波导干涉仪干涉后的光由输出耦合元件(18)耦合出气体盒，进入光电信号转换及处理系统，由光纤经透镜(7)和检偏器(8)导入光电二极管(9)，将光强转化为电信号输入微信号处理器(10)，经运算得到待测的硫化氢气体的浓度值。