用磁控溅射法生产CdS/CdTe太阳能电池的装置

申请号：

200910164225.X 

摘要：

本发明公开了用磁控溅射法生产CdS/CdTe太阳能电池的装置，其特点是该装置由CdS/CdTe的形成装置，CdCl2热处理装置和背电极制作装置组成。CdS/CdTe的形成装置依次由进料仓(1)、CdS镀膜仓(2)、过渡仓(3)、CdTe镀膜仓(4)和出料仓(5)组成；CdCl2热处理装置采用近空间升华法装置将CdCl2镀在CdS/CdTe面上；背电极制作装置与CdS/CdTe形成装置基本相同，只是将CdS镀膜仓换成ZnTe镀膜仓，CdTe镀膜仓换成Ni镀膜仓。然后采用磁控溅射法将CdS、CdTe、CdCl2、ZnTe:Cu和Ni分别溅射到经清洗激光刻的导电玻璃工件上，用超声焊机焊上引出电极，用UV胶在电池背面涂覆约200～500μm厚的胶膜，经UV干燥机干燥后形成完整的太阳能电池。